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传感器的特点包括:微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化,它不仅促进了传统产业的改造和更新换代,而且还可能建立新型工业,从而成为21世纪新的经济增长点。微型化是建立在微电子机械系统(MEMS)技术基础上的,已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。

广泛应用于露点仪、电力设备、物联网设备、航空航天连接器,煤炭开采和石油勘探设备,实现数据的采集和传输。 技术性能: 1.常温常压下,泄漏率≤1*10 -9 Pa.m 3 /s(He); 2.绝缘电阻大于1000MΩ/500VDC(500伏,1000兆欧); 3.玻璃绝缘子与底座间耐压强度大于300MPa 4.良好的焊接性能。

用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用为普遍。

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