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单晶炉设备知识、部分电控柜1.两个滤波器的作用型号,原理以及正常工作的电压,输入输出(好坏如何检测)2.两个伺服驱动器的作用原理型号以及相关判断方式,输入输出(好坏如何检测)3.两个一般驱动器的作用原理型号以及判断方式,输入输出(好坏如何检测)4.继电器的型号作用以及类别,输入输出(好坏如何检测)5.反馈放大板的作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)6.
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整个炉内的一氧化硅与的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外,整个炉内不存在排气 不畅的地方,即不存在排气死角,既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀,还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上,从而确保了该炉的使用寿命,使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上,另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用,使平均成品率从原来的65%提高68%以上,并可提高单晶 的内在质量。本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置,缩短了排气管路,利于提高排气效率。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,进一步为了当不再继续加料时,可以更方便地将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置,并方便外部化料器的移动、拆解和清理,连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂,所述底座上设置有立柱,所述化料器旋臂铰接在立柱上,所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂上,所述外部化料器连接在化料器升降驱动装置上,以便在不继续加料时,通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器上升不干涉主炉室坩埚上升的位置;和化料器升降驱动装置及外部化料器随化料器旋臂一起转动。进一步提供了一种化料器升降驱动装置的具体结构,所述化料器升降驱动装置包括支撑杆、丝杠、电机和连接块,所述支撑杆连接在化料器旋臂上,所述丝杠可旋转地支承在支撑杆上,所述电机连接在丝杠上,所述连接块通过螺纹连接在丝杠上,所述外部化料器连接在连接块上,以便通过电机驱动丝杠旋转,进而将丝杠的旋转运动转换为连接块的直线运动,并通过所述连接块带动外部化料器升降。