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静安提拉式长晶炉回收 滤波柜回收联系电话

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DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸,以提高集成度;另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地,作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度,以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上,硅晶体直径大致每4~5年增长1时(25.4mm),相应地,生产投料重也由1公斤逐渐发展为3~5公斤、8~12公斤、15~刘公斤和朋~6O公厅等几个等级。在这发展中,有两个条件是相辅相成、共同进步的,这是单晶炉和拉晶工艺。
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工作原理如下:取出晶棒后,将硅料加入加料坩埚62,盖上外部加料器6的上盖63,将外部加料器6真空抽到合适压力值时打开旋阀64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主炉室坩埚21,当外部化料器7中的硅料加完后,再关闭旋阀64,把外部加料器6充常压,打开外部加料器6的上盖63继续加料,如此循环,进而完成外部加料、化料,本发明可实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚21可以实现连续拉制五六根晶棒,可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间,进而提高生产效率;本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器6移出工作位并旋开,进而方便拆炉和清理,本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2的零部件;本发明可通过副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室3移动,分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,为了当不再继续加料时,化料器升降驱动装置更好地驱动导料管20提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,所述导流管20和支撑杆191均呈倾斜状设置,所述支撑杆191和导流管20的倾斜方向及倾斜角度一致。为了增强外部化料器7的稳固性,所述连接块194少设置有两个。为了防止润滑油脂挥发污染原料,所述丝杠192的外侧套装有可伸缩的防尘罩95,所述防尘罩95为波纹防尘罩。

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