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浮力提拉单晶炉提拉机构特性分析\一、引言 浮力提拉单晶炉(简称FTD)是利用浮力原理设计成的提拉式单晶炉帕,十多年来,用它先后生长成功了多种晶体〔2一5〕。这种炉子容易制造,成本低,易于推广,目前国内已有几个厂家使用它生产泥酸铿单晶。作为一种发明,FTD也受到肯定和重视。可是,FTD在问世以后,却没有进行深入探讨。虽然FTD的设计有过几次变化,但由于没有掌握设计的则,致使FTD存在不同程度的提拉不均匀现象,严重地影响了它的推广普及。为了改善它的提拉特性,我们研究了FTD浮力提拉原理,对多台FTD作了分析对比,由此找出了提拉不均匀性产生的根源;明确了FTD提拉机构的设计要领。希望这-一卜作能够推动FTD的发展.并有助于单晶的生长研究和生产。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的产生习C^l 奋幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。} 分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成\副室：主要是副室筒以及上下法兰组成\ 炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成\炉筒：包括取光孔\下炉筒：包括抽真空管道\底座机架：全铸铁机架和底座\坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成\分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管 水管卡套等\管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等\电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线