Edwards爱德华分子泵控制器维修EXC300D39614000

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分子泵控制器维修范围：

普发Pfeiffer， 莱宝Leybold，阿尔卡特 Alcatel ，爱发科ULVAC，爱德华Edwards ，瓦里安Varian，精工精机Seiko Seiki ，岛津，安捷伦Agilen，大坂Osaka, 普旭Busch等真空涡轮分子泵,复合分子泵,磁悬浮分子泵，分子泵机组，分子泵电源，分子泵控制器,分子泵驱动器,真空计，真空显示器，真空规管，真传感器，氦气检漏仪,质谱仪的维修服务，经验丰富，检测设备完备，有多种型号分子泵维修配件。

分子泵维修常见问题及故障原因分析：

1. 真空度正常, 分子泵可以达到全速, 但是噪音大

故障原因: 前级泵问题, 系统漏气, 轴承问题, 转速限定

建议: 分子泵运行过3年, 可能内部陶瓷球轴承已磨损, 建议送修检测, 如果放任不管, 后续会磨损转子, 对泵体内部造成更严重的损伤