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　真空技术在冶金、化工、轻工、食品、医药等领域得到了十分广泛的应用，然而在这些领域大都存在尘埃对真空系统的危害问题。为保护真空系统或真空泵不受粉尘和固体颗粒污染和损坏，管路中需配置真空除尘器和真空过滤器。它们可保护真空阀门不被阻塞，避免阀板关闭不严造成漏气，保护测量压力的真空规管不受污损，防止泵受损而工作失常等，对真空设备的净化和平稳、持续工作均很重要。除尘机理及过程从气体中捕集分离粒子的除尘机理，主要有以下几个方面:、重力气流中的尘粒可以依靠重力自然沉降，从气流中进行分离。由于尘粒的沉降速度一般较小，这个机理只适用于粗大的尘粒、离心力利用机械力来捕集分离含尘气流中的粉尘，离心力除尘装置是其中有效的除尘装置。它对粒径较小尘粒的分离捕集非常有效。含尘气流作圆周运动时，分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，采用了上述技术方案后，本发明具有以下有益效果：、取出晶棒后，将硅料加入加料坩埚，盖上外部加料器的上盖，将外部加料器真空抽到合适压力值时打开旋阀，硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化，熔化后的硅料流入主炉室坩埚，当外部化料器中的硅料加完后，再关闭旋阀，把外部加料器充常压，打开外部加料器的上盖继续加料，如此循环，进而完成外部加料、化料，本发明可实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒，可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间，进而提高生产效率；、