爱发科真空泵油MMR-100日本松村ULVACSO润滑油单双旋泵用
日本MORESCO松村ULVAC爱发科真空泵润滑油SO-M MR-100
TECHNICAL INFORMATION MORESCO
N0304-02010-02
合成类旋转式高真空泵油 NEOVAC SO-M100
序言 NEOVACSOM是用高真空蒸馏装置将以烷基联苯醚为主要成
分的合成润滑油精密分馏而制成的合成类旋转式高真空泵油。具有矿物油系产品得不到的高耐活性气体、耐热性、耐氧化性，特别适用于半导体制造装置等使用活性气体的排气系统。
特点 1.低蒸气压蒸气压低，可以得到泵的界限到达压力。
2.耐热、耐氧化性具有矿物油系产品达不到的耐热性、耐氧化性，可以长期使用。
3.耐活性气体对于活性气体也可以抑制氧化劣化物产生，可长期使用。
4.耐放 射 线也适用于放射线多的特殊环境。