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光刻胶SPR955SPR955-1.1

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SPR 955属于紫外光刻胶-薄膜,SPR 955系列光刻胶有:SPR 955-0.7/SPR 955-0.9/SPR 955-1.1/SPR 955-1.4/SPR 955-1.8/SPR 955-2.1,适用i-Line光谱,厚度范围在0.5-3.5之间,分辨率为0.35um。具有高分辨率(undercut)、 高深宽比的孔、灵敏度高等特点,通常应用于正性i线光刻胶,适用于分辨率要求较高的湿法腐蚀和干法刻蚀工艺。


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