EDS的工作原理是利用高能电子束轰击样品表面，激发原子内层电子并产生特征X射线，通过测量X射线的能量可以确定元素的种类和浓度。
SEM+EDS分析技术具有高分辨率、高灵敏度、高准确性等优点，能够实现对样品表面和内部微观结构的深入分析和理解。
在SEM+EDS分析中，可以通过调整电子束的加速电压、束流强度等参数，优化成像效果和元素分析的准确性。
SEM+EDS分析技术可以用于分析复合材料的界面结构和成分分布，为复合材料的制备和应用提供科学依据。
SEM+EDS分析技术可以用于研究生物样品的微观结构和成分分布，为生物医学研究和临床诊断提供重要信息。
SEM+EDS分析技术可以用于分析地质样品的矿物成分和结构特征，为地质勘探和资源评价提供重要信息。
在SEM+EDS分析中，需要注意样品的污染和损伤对分析结果的影响，需要采取适当的措施避免样品污染和损伤。