SEM检测微观观察
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SEM+EDS分析:
高能电子束轰击样品表面,激发各种信号。可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析:
SEM主要利用背散射电子(BEI)和二次电子(SEI)来成像
EDS通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。
SEM+EDS主要检测范围
1.表面微观结构观察及微小颗粒物尺寸量测
2.微薄镀层厚度测量
3.表面失效分析(异色、腐蚀、损伤等检测);
4.表面相分析、夹杂物鉴别等;
5.金属断口分析;
6.焊接或合成界面分析;
7.锡须观察
扫描电镜分析(SEM+EDS)可实现金属、陶瓷、半导体、聚合物、复合材料等几乎所有固体材料的表面形貌、断口形貌、界面形貌等显微结构分析,借助EDS还可进行微区元素含量分析