氦质谱真空检漏仪的原理及行业解决方案

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是二次世界大战期间快速发展起来的一种检漏仪，其灵敏度高达10-13Pa·m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-8~10-13Pa·m3/s。

氦质谱检漏仪（MSLD），用于定位和测量进入或离开系统或容器设备的泄漏。将示踪气体氦气引入与检漏仪连接的测试部分。氦气通过测试部件泄漏进入系统，测量分压并显示在压力表上。

氦检漏仪由以下几部分组成：。
1. 用于检测氦质量的光谱仪。
2. 用于维持分光计压力的真空系统。
3. 用于抽真空待测部件的机械泵。
4. 支持各种测试阶段的阀门:抽真空，测试和排气。
5. 放大器和读出仪器，用于监测输出信号。
6. 电源和控制。
7. 将待测零件连接到检测器的夹具上。

氦质谱检漏仪适用于真空行业，仪器仪表行业、管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各种排气装置、电子显微镜、质谱仪、电子束离子速度曝光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐射加速器、镀膜机、薄膜真空计等。铀分离装置、贮存装置、核能发电装置。制冷行业的冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、以及低温储罐等。（氦质谱检漏仪，氦气检漏仪厂家，歌博造）