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几何误差修正
几何误差是由于机器部件的磨损、定位误差或制造误差导致的。通过使用修正程序，可以纠正这些误差，从而提高测量精度。修正程序通常包括对机器运动的线性度、角偏差和重复定位精度的测量和调整。

光学干涉测量技术在精密加工中的应用：光学干涉测量技术利用光的干涉原理，通过测量光波在物体表面反射或透射时产生的干涉图样，来测定物体的形状、表面粗糙度等参数。该技术具有高灵敏度和非接触测量的优点，在光学元件加工、半导体制造、微纳米加工等领域得到广泛应用，推动了这些领域向更和更复杂结构的发展。

形位公差是指加工成的零件的实际表面形状和相互位置，对理想形状与理想位置的允许变化范围。它涵盖了形状公差和位置公差两大类。
分类：
形状公差：指单一实际要素的形状所允许的变动全量，如直线度、平面度、圆度、圆柱度等。
位置公差：指关联实际要素的位置对基准所允许的变动全量，包括定向公差（如平行度、垂直度、倾斜度）和定位公差（如同轴度、对称度、位置度等）。

公差原则是正确处理尺寸公差与形位公差之间关系的规定。常见的公差原则包括：

立原则：尺寸公差与形位公差彼此无关，分别满足各自的要求。
包容要求：用于单一要素，表示实际要素应遵守大实体边界，其局部实际尺寸不得超出小实体尺寸。
大实体要求：适用于中心要素，要求该要素的实际轮廓不得超出大实体实效边界，并且实际尺寸不得超出极限尺寸。
小实体要求：当被测要素的实际轮廓偏离其小实体状态时，允许的形位误差值可以增加，偏离多少就增加多少。
可逆要求：指中心要素的形位误差值小于给出的形位公差值时，允许在满足零件功能要求的前提下扩大尺寸公差。
直尺测量：使用直尺或卷尺等工具直接对准待测尺寸的两个端点，读取刻度值以获取尺寸大小。这种方法简单直接，适用于简单的线性尺寸测量。
游标卡尺测量：游标卡尺是一种精密测量工具，用于测量长度、宽度和深度等尺寸。其测量精度一般可达到0.01毫米，适用于各种形状的尺寸测量，尤其适用于小尺寸的测量。
千分尺测量：千分尺的测量精度更高，一般可达到0.001毫米，适用于各种形状和大小的精密尺寸测量，尤其适用于微小尺寸的测量。