ULVAC罗茨泵维修爱发科PRC-012A真空度低缸体修复维护保养

ULVAC罗茨泵维修爱发科PRC-012A真空度低 缸体修复维护保养
罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用，可以提高粗制泵排气速度低下的10kPa-0.1Pa领域的排气速度。
PRC 系列是特别为洁净度要求高的半导体、液晶制造使用设计的罗茨泵。可以选择大气驱动型。
爱发科罗茨真空泵 PRC用途
1、真空脱气、真空干燥、冻结干燥、
2、蒸着、离子电镀、溅射
3、检漏装置、分析机器、热处理炉、溶解炉
4、气体置换、充填、真空断热、其他各种真空装置
爱发科罗茨真空泵 PRC特点
1、无油
泵壳室无润滑油，水蒸气、溶剂等的蒸汽稳定。
2、耐腐蚀性的表面处理
主要部品表面实施了硬度高耐腐蚀性的耐酸铝处理、抑制了泵内部的腐蚀伤害。
3、采用罐式马达
采用罐式马达、可以没有大气压/真空的机械。不用担心漏油、可以在清洁的环境中使用。
4、排气时间缩短有效的大气压驱动型（选项：变换器）
可以和粗制泵同时启动，比标准型的排气时间更短。
东莞比其尔真空机电设备有限公司
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