高温铭桥法兰过滤器氧气过滤器GL41W-16P

检漏的原理
采用冷发方法，将产生的多分散气溶胶引入送风管道上（过滤器的上游）。使其达到需要的气溶胶浓度。GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》规范上要求过滤器上游的微粒浓度（≥0.3μm）大于或等于 6000pc/L。在下游，使用小采样量大于1L/min的粒子计数器扫描，对被检过滤器整个断面、缝接头以及与静压箱的密合处进行扫描。检测点应距离被测表面15mm~20mm，探头以1.5cm/s的速度进行来回扫描。

对 ULPA 过滤器进行粒子计数效率试验时，由于效率太高而使下游粒子浓度过低，下游粒子计数不足以得出可靠的效率数值。按理，过滤器厂应延长试验时间，以得到具有统计意义的计数。但是，主要由过滤器制造商制定的过滤器标准将 ULLPA 过滤器的效率测量麻烦推给了滤纸制造商。如果过滤器厂的客户不坚持要求过滤器厂自己测量 ULPA 过滤器的效率，有些过滤器厂就直接使用滤纸实验室提供的效率数据，而在生产检验中只进行快速的检漏扫描。好在全世界没有几家滤纸厂，谁也不敢在试验上含糊。中国情况比较特殊，中国的滤纸厂数量是中国之外所有滤纸厂的几倍。中国滤纸厂正在努力使自己成为数据信得过的供货商，但需要继续努力一阵子。

在待测过滤器的上游端发PAO气溶胶作为尘源，待气溶胶混合均匀也就是当上游浓度值稳定后，用气溶胶光度计进行检测，把该浓度值设定为基准值。上游浓度值设定后，不要再调整PAO气溶胶浓度。用光度计在过滤器下游逐点扫描，检测气溶胶浓度，下游浓度与设定的上游浓度的比值，就是过滤器的泄漏率（也称透过率）。