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为了避免下驱动装置4受到外界震动的影响,进而保下驱动装置4的工作精度,所述底座1和下驱动装置4之间设置有减震装置,所述下驱动装置4的底端设置有承载板41,所述承载板41通过少两个螺钉16固定连接在底座1上,所诉减震装置包括与螺钉16分别一一对应的下减震橡胶垫171和上减震橡胶垫181,所述下减震橡胶垫171套装在螺钉16的下端部,所述下减震橡胶垫171的底部和底座1抵接,所述下减震橡胶垫171的顶部和承载板41抵接,以便于通过下橡胶减震171垫吸收从外界传来的震动,以避免下驱动装置4受到外界震动的影响,所述上减震橡胶垫172套装在螺钉16的上端部,且所述上减震橡胶垫172与承载板41的上端面压接,以避免螺钉16的震动影响到承载板41。
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提拉式单晶炉技术参数1、电源电压:380VAC±5%2、电源频率:50HZ 3、电源相数:3相3线制4、变压器容量:190KVA5、加热器加热功率:160KW6、加热温度:1600℃7、加热器加热电压:60V8、冷炉极限真空度:<a9、晶体直径:¢6〞~¢8〞10、熔料量 :90Kg11、主炉室尺寸:φ900×1250mm上炉室尺寸:φ900×900mm下炉室尺寸:φ900×350mm12、翻板阀通径:φ280mm13、封头炉盖高度:410mm14、副炉室尺寸:φ280×250015、籽晶转速范围:1~40rpm16、籽晶拉速范围:0.2~8mm/min17、籽晶快速:≥350mm/min18、籽晶在炉内有效行程:3500mm19、籽晶在副室内有效行程:2100mm20、坩埚升速范围:0.02~1mm/min21、坩埚快速:≥100mm/min22、坩埚在炉内有效行程:400mm23、坩埚转速范围:1~30rpm24、两个电极孔孔距:480mm 25、耗水量:25m3/h26、主机占地面积:2500x2000mm27、主机高度:6800mm28、主机重量:约7500Kg分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,为了避免下驱动装置4受到外界震动的影响,进而保下驱动装置4的工作精度,所述底座1和下驱动装置4之间设置有减震装置,所述下驱动装置4的底端设置有承载板41,所述承载板41通过少两个螺钉16固定连接在底座1上,所诉减震装置包括与螺钉16分别一一对应的下减震橡胶垫171和上减震橡胶垫181,所述下减震橡胶垫171套装在螺钉16的下端部,所述下减震橡胶垫171的底部和底座1抵接,所述下减震橡胶垫171的顶部和承载板41抵接,以便于通过下橡胶减震171垫吸收从外界传来的震动,以避免下驱动装置4受到外界震动的影响,所述上减震橡胶垫172套装在螺钉16的上端部,且所述上减震橡胶垫172与承载板41的上端面压接,以避免螺钉16的震动影响到承载板41。

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