INFICONCDG100D压力计

CDG100D加热型电容膜片真空计

INFICON SKY CDG100D 压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

特点

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗

易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设

轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移

诊断端口便于快速服务与维护

两年保修服务，的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

的信号稳定性和可重复性，即使是非常严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准

合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程

化学和腐蚀性高温过程

需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

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