晶圆外缺陷检测设备台州视觉外观检测系统

设备简介
晶圆外缺陷检测设备基于机器视觉图像处理技术，结合当前视觉领域的光源照明系统，对晶圆/滤光片外观所产生的划痕、缺角、裂片、脏污、黑点、混装等缺陷进行实时在线检测。本系统采用进口工业相机快速获取产品图像，通过图像识别、分析和计算、输出检测信号。
系统的功能模块
图像抓取模块本模块在收到设备的检测信号后，点亮光源，通过相机获取并显示图像。
学习模块通过本模块，用户可设定各种参数，以使系统获知用于检测的各种基本信息，如晶圆的数量和位置，二值化所用的灰度值等信息。图像处理模块本模块根据学习过程中的设定值，对图像中区域进行数字化处理，提取晶圆的征，经计算后与用户所设定的容许度范围进行比对，得出检测结果。控制模块本模块包括与设备主机的通讯，和控制外围设备。
检测项目
1.自动检测晶圆、滤光片、基片、硅片等的缺陷；
2.自动检测划痕、内凹、外凸、起泡、麻点、同色异物、脏污等缺陷；
3.自动检测区域灰尘、毛边、变形、黑点、混装、字符模糊等缺陷；
4.自动完成晶圆定位，执行检测；
5.非接触自动检测，不会对晶圆造成任何破坏或损伤；
6.自动完成被检产品与相机获取图像同步，处理时间在100ms以内；
7.自动完成样品检测及保存功能；
8.对产品图像进行自动存储，可进行历史查询，大保存容量为100万条供查询；
检测设备优势
1.操作界面清晰明了，简单易行，只需简单设定即可自动执行测量；
2.测量软件及算法完全自主开发，系统针对性强；
3.可灵活设置检测模板、检测范围；
4.可选择局部检测功能，提高测量速度；
5.化光源设计，成像清晰均匀，确保测量任务完成；
6.支持多种型号产品的测量、具备产品在线自动搜索等功能；
7.采用高速工业相机，适用于静态或动态生产线检测；
8.安装简单，不影响原生产线工作；结构紧凑，易于操作、维护和扩充；
9.可靠性高，运行稳定，适合各种现场运行条件。