Downstream等离子体源表明极化等离子体源火炬

电子器件制造：ECR等离子体源在半导体工业中，微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧，可以多个等离子体源组成等离子墙，或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。

科学研究：微波等离子体源在等离子体物理学、材料科学和航空航天研究中都有应用。它们可用于研究等离子体行为、材料相互作用以及模拟太空环境。

Sirem微波等离子体源源被设计成立或远程操作、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。 详细和交互式的界面使它们易于操作、使用，可以通过RS232、RS485, ETHERNET 或现场总线连接进行模拟控制，如CanOpen、Modbus、Profibus等。