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对比几个真空镀膜机的检漏方法：
氦质谱检漏该工艺是真空镀膜机真空检漏技术里不可缺少的一种技术，因为检漏率，简单易使用，仪器设备反映灵敏，，不容易受别的气体的影响，在检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏仪是依据质谱学基本原理，用氮气作示漏气体做成的气密性检测仪器。由离子源、解析器、回收器、冷阴极水解规构成的质谱分析室和吸气系统及电气一部分等构成。质谱分析室里的钨丝发送出去的电子，在房间内不停地震荡，并与房间内空气和经漏孔进入到屋内的氦气互相撞击使其水解成共价键，这种氦离子在加快静电场的作用下进入到磁场，因为洛伦兹力作用产生偏转，产生圆弧状轨道，更改加速电压可使不一样品质的离子通过磁场和接受缝抵达接收极而被检验。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中经常使用的这两种方式。采用真空法检漏，镀膜机不需要停机，直接在真空泵的旁路利用波纹管接入检漏仪，在怀疑有漏的地方喷氦气，即可完成检漏。

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真空镀膜机的工作原理如下：
在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此，当评价某薄膜样品的性能时，需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形，这往往需要进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题：，不同次生长的样品，仪器的状态不同，以至于影响薄膜样品性能的因素可能不仅仅是厚度；其次，真空镀膜实验装取样品需要重新进行真空的获得，非常耗时。增加了生产和检测的成本。
因此，提供一种多功能磁控溅射镀膜系统，本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。

真空镀膜工艺在信息存储范畴中的运用薄膜资料作为信息记载于存储介质，有其得天厚的优势：因为薄膜很薄能够疏忽涡流损耗；磁化回转极为敏捷；与膜面平行的双稳态状况简单保持等。为了更精细地记载与存储信息，必定要选用镀膜技能。

真空镀膜工艺在传感器方面的运用在传感器中，多选用那些电气性质相关于物理量、化学量及其变化来说，极为敏感的半导体资料。此外，其中大多数运用的是半导体的外表、界面的性质，需求尽量增大其面积，且能工业化、低报价制造、因而选用薄膜的状况许多。

真空镀膜机工艺在光学仪器中的运用大家了解的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪，以及平时生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等，它们都离不开镀膜技能，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。