X射线测厚仪利用X射线管通电产生X射线作为信号源，根据X射线穿透被测物时的强度衰减来进行转换检测薄膜的厚度，它的特点是放射物质能量低，无需使用许可证，测量精度高，可测量透明或不透明材料，不受添加剂和色母料的影响，不受环境温度和薄膜抖动影响。
两个激光位移传感器的激光对射，被测体放置在对射区域内，根据测量被测体上表面和下表面的距离，计算出被测体的厚度。
的基本组成是激光器、成像物镜、光电位敏接收器、信号处理机测量结果显示系统。激光束在被测物体表面上形成一个亮的光斑，成像物镜将该光斑成像到光敏接收器的光敏上，产生探测其敏感面上光斑位置的电信号。当被测物体移动时，其表面上光斑相对成像物镜的位置发生改变，相应地成像点在光敏器件上的位置也要发生变化
采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造了设备系统高可靠性。