高纯纳米碳材料Hi-Wave等离子体源

2.45 GHz 微波等离子体源是一种用于产生等离子体的设备，它利用 2.45 GHz（千兆赫）的微波频率来产生电离气体。这种技术在各种工业和科学应用中都有重要应用。

电子器件制造：ECR等离子体源在半导体工业中，微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧，可以多个等离子体源组成等离子墙，或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。

照明：微波等离子体源可用于制造高强度放电灯，如用于投影仪或汽车前灯的金属卤化物灯。 医学应用：微波等离子体源可用于医疗消毒和手术中的组织电凝。