ULVACUTM3400A涡轮分子泵维修保养-分析设备泵

  ULVAC UTM3400A 采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省配线，省空间。

特点

泵体和控制器一体化泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。

安装方向自由安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。

产品阵容涵盖排气速度1000 L / s至4000 L / s。

广域大流量设计，适用于轻工艺泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。

高耐久性和安全性已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。

用途

各种设备的主真空排气系统 

半导体制造设备

蒸发设备

溅射设备

分析设备

实验设备

等研究开发设备

不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统

替换设备上的有扩散泵

其他一般高真空排气用途