湖州德清提拉式长晶炉回收滤波柜回收现场报价
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2-3台¥450000.00
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1-2台¥200000.00
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特点编辑HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动,便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计,提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面,便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。
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用于熔化硅料的外部化料器7,所述外部化料器7的和加料坩埚62相连通,所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21相连通,以便将硅料加加料坩埚62后,硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化,被熔化后的硅料流主炉室坩埚21内。具体地,外部加料器6和外部化料器7之间设置有旋阀64,以便通过旋阀64控制外部加料器6和外部化料器7之间是否连通,所述外部化料器包括装料器71、化料器坩埚72和用于给化料器坩埚72加热以便硅料熔化的热场73,所述装料器71和加料坩埚62相连通,所述化料器坩埚72和装料器71相连通,分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,发明内容、本发明的目的是提供一种易于及时排出炉内的混合气体,且可减少热 能及消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是提供一种直拉式单晶生长炉,其包括 输入管、与输入管相连通的环形气体分布器;其特征在于经氩 气输入管输入的气压为0. 8xl0a0. 9xl0a,流量为 30L/min。上述技术方案中,还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该炉底部的排气口之间的气流导向装置;该气流导向装置为碗形,其包括 设于气流导向装置底部的中轴孔、设于所述中轴孔两侧的 一对电极孔、 以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔;该炉的石墨中 轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,该炉的 一对电极柱分别穿过所述电极 孔,该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上 端部设于该炉的保温筒与发热体之间。