EDWARDSEPX180高真空干泵维修，爱德华半导体干泵

 EDWARDS  EPX180 高真空干泵维修，爱德华半导体干泵

   新的紧凑型EPX180高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX180使用了特的专利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。EPX泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作，增压室内无润滑或密封液。这样可以确保泵送系统清洁，不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中