电子工业用氦气质量监督检测机构

电子工业用氦气质量监督检测机构

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氦气制备方法

1、冷凝法：天然气提氦在工业上采用冷凝法该法工艺包括天然气的预处理净化、粗氦制取及氦的精制等工序，制得99.99%的纯氦气。

2、空分法：一般采用分凝法从空气装置中提取粗氦、氖混合气，由粗氦、氖混合气制纯氦、氖混合气经分离及纯化，制得99.99%的纯氦气。

3、氢液化法：工业上采用氢液化法从合成氨尾气中提氦。该法工艺是低温吸附清除氮、精馏得到粗氦加氧催化除氢及氦的纯化，制得99.99%的纯氦气。

4、高纯氦法：将99.99%的纯氦进一步用活性炭吸附纯化制得99.9999%的高纯氦气。工业氦气纯度=100-氖-氢-氧-氩-氮-甲烷，水分；纯氦高纯氦气超纯氦气纯度=100-氖-氢-氧-氩-氮-CO-CO2-甲烷-水；电子工业用氦气纯度=100-氧-氮-CO-CO2-总烃-水分，颗粒