德国普发Pfeiffersplitflow80分子泵维修
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Pfeiffer Vacuum 的 SplitFlow
涡轮泵技术以一个真空系统替代多泵系统。SplitFlow系列的涡轮分子泵可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。作为前级泵可根据气体载荷选用小型经济的干式膜片泵。这意味着投资和运营成本会显著减少。另一个优点是真空系统占地面积小。
Pfeiffer SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 为便携式分析系统开发的小型涡轮分子泵的抽速范围介于
10 l/s 到 0.1 l/s 之间
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