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二手日本光驰滤光片镀膜机窄带滤光片电镀机镀膜线OTFC-1300

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商品详情

二手日本光驰滤光片镀膜机 窄带滤光片电镀机 镀膜线OTFC-1300介绍

设备名称

OTFC-900CBI/DBI

真空室

SUS304, φ900mm×1300mm (H)

工件架

φ 790mm

工件架转速

10 rpm to 30 rpm (可变)

光学膜厚控制

HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式/透射式可选

水晶式膜厚计

XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源

电子枪2套

离子源

250px RF 离子源

排气系统

机械泵+1个扩散泵+Polycold(或1个冷凝泵)

 

性能

达到压力

7.0 × 10-5 Pa 以下

排气时间

15  (大气压 1.3×10-3 Pa)

基板温度

高:350℃

 

工作条件

设备尺寸

4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.

电源

3相,200v,50/60Hz, 约80KVA

水流量

80升/分以上

空气压力

0.5MPa 以上

重量

5400kg

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公司有多种进口品牌真空电镀膜机(日本光弛OTFC-1300/1550/1800,龙翩1400/1650/2050,韩一1200/1600/2050)出售租凭卖买业务

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