二手日本光驰滤光片镀膜机窄带滤光片电镀机镀膜线OTFC-1300
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二手日本光驰滤光片镀膜机 窄带滤光片电镀机 镀膜线OTFC-1300介绍
设备名称 | OTFC-900CBI/DBI |
真空室 | SUS304, φ900mm×1300mm (H) |
工件架 | φ 790mm |
工件架转速 | 10 rpm to 30 rpm (可变) |
光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 |
水晶式膜厚计 | XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源 | 电子枪2套 |
离子源 | 250px RF 离子源 |
排气系统 | 机械泵+1个扩散泵+Polycold(或1个冷凝泵) |
达到压力 | 7.0 × 10-5 Pa 以下 |
排气时间 | 15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa) |
基板温度 | 高:350℃ |
设备尺寸 | 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx. |
电源 | 3相,200v,50/60Hz, 约80KVA |
水流量 | 80升/分以上 |
空气压力 | 0.5MPa 以上 |
重量 | 约5400kg |
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公司有多种进口品牌真空电镀膜机(日本光弛OTFC-1300/1550/1800,龙翩1400/1650/2050,韩一1200/1600/2050)出售租凭卖买业务
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