生产晶圆挑片器半导体挑片机

现有晶圆片生产过程中,需要从一道生产工序转移到下一道生产上,现有技术中依靠人力进行传送,传送过程的耗费人力,且人为传送力道不能掌握,容易造成破片。为此,我们提供了一种自动晶圆传片器以解决以上问题。

通过设置设备箱体、卡匣定位结构、检测机构和推料机构,使得在晶圆片传送时能够通过卡匣定位结构对卡匣进行定位，然后再通过检测机构检测卡匣内晶圆片的位置，避免晶圆片错位，后通过推料机构实现卡匣的传送,整个传送过程简单、易操作，实现自动化传片,且能够对晶圆片进行检测避免晶圆片错位造成传片损坏。

切片工艺变得越来越且要求高。切割迹道变得越窄，可能充满测试用衰耗器(test pad)，并且刀片可能需要切割由不同材料制成的各种涂敷层。在这些条件下达到大的切片工艺合格率和生产率要求认真的刀片选择和的工艺控制能力。