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由于半导体产品的生产过程十分复杂,任何一个环节出现错误都可能导致大量产品质量不合格,甚至对终的应用产品的性能产生重大影响。因此,测试在半导体产品的生产过程中具有非常重要的地位,贯穿于半导体产品的设计、制造、包装和应用的整个过程中。

探针是半导体试验所需的重要耗材。通过与试验机、分拣机、探针台配合使用,可以筛选出产品设计缺陷和制造缺陷,用于设计验证、晶圆试验和成品试验。它在确保产品产量、控制成本、指导芯片设计和工艺改进方面发挥着重要作用。

探针的选用

(1)材料:选择材质通常为316不锈钢、金属玻璃、石英玻璃、硅、玻璃钢等。不同材料的探针具有不同的化学惰性和机械性能,对探测的液体和气体有不同的适应性。

(2)形状:选择探针的形状应该根据实验需求进行选择,通常探针的形状为直棒状、U形、Z形等。考虑到实验的灵敏度问题,在选用探针时与被测物相匹配。

(3)长度:探针的长度是下降液面幅度的关键因素。为获得准确的下降水平,要根据实际测量需求选择合适的长度。

(4)直径:探针的粗细通常采用0.5mm至5mm之间。过粗的探针会影响测量的灵敏度,过细的探针则可能会导致探针的折断。

(5)表面处理:在实验中,探针处于探测的介质中,探针的表面形态和性质会直接影响到测量结果。因此,探针的表面要求经过光洁处理和表面处理。

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