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采用了上述技术方案后,本发明具有以下有益效果:、取出晶棒后,将硅料加入加料坩埚,盖上外部加料器的上盖,将外部加料器真空抽到合适压力值时打开旋阀,硅料落入外部化料器中并在外部化料器中被熔化,熔化后的硅料流入主炉室坩埚,当外部化料器中的硅料加完后,再关闭旋阀,把外部加料器充常压,打开外部加料器的上盖继续加料,如此循环,进而完成外部加料、化料,本发明可实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒,可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间,进而提高生产效率;、蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,使肩部近似直角;然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体;后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。
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普陀涡旋高真空泵回收 普陀直拉式单晶炉回收美国KAYEX\国外以美国KAYEX 为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上,进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

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