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半导体级直拉法的工艺控制\进入21世纪以来,随着新兴产业的科技创新,半导体行业得到了的发展。半导体产业发展迅猛,尤其近几年,大力发展半导体产业,缩短该行业与世界水平的差距。目前虽然有许多新兴材料来替代硅材料,但未来几年可以预见,硅材料由于其成熟的技术品质和稳定的物理化学性质,将会在相当长的一段时间里是主流材料。硅单晶作为主要材料,应用的领域也是相当广泛的。硅单晶是由多晶硅原料经过物理变化,让硅原子按照人为设定的方向进行生长,终形成的。一般会采用直拉法进行制备。晶圆的直径越大,集成电路制造的成本将会越低,因此要求作为材料的硅单晶的直径也要相应的增大。这里面涉及到了一系列问题。这篇论文主要讨论的是通过对热场的设计,工艺的过程控制,减少位错的产生,以及通过化学腐蚀对位错进行检测的相关问题。 蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，2011年度，相关部门推出了一系列的激励政策，包括2011年度的金太阳项目，太阳能光电建筑应用示范工程，以及光伏上网电价等。这些政策的出台和实施，对光伏产业起到了很好的推动作用。在能源科技“十二五”规划中，明确划分了4个技术领域：勘探与开采技术、加工与转化技术、发电与输配电技术和新能源技术。提到2020年，光伏发电成本降低到与常规电力相当的目标，充分体现了实现由能源大国向能源强国转变、促进光伏应用发展的决心。而能源局公布的“十二五”可再生能源目标，提出到2015年光伏发电将达到15GW，发电量200亿千瓦时。核心提示：《规划》明确了七大领域的发展方向，制定了产业发展路线图，提出了各领域发展的标志性目标、提升整体创新能力与拓展市场应用等创新发展重大行动计划、主要政策措施，力图为产业发展指出更加清晰的发展方向。

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