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本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) )
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进一步为了避免下驱动装置受到外界震动的影响,进而保下驱动装置的工作精,所述底座和下驱动装置之间设置有减震装置,所述下驱动装置的底端设置有承载板,所述承载板通过少两个螺钉固定连接在底座上,所诉减震装置包括与螺钉分别一一对应的下减震橡胶垫和上减震橡胶垫,所述下减震橡胶垫套装在螺钉的下端部,所述下减震橡胶垫的底部和底座抵接,所述下减震橡胶垫的顶部和承载板抵接,以便于通过下橡胶减震垫吸收从外界传来的震动,以避免下驱动装置受到外界震动的影响,所述上减震橡胶垫套装在螺钉的上端部,且所述上减震橡胶垫与承载板的上端面压接,以避免螺钉的震动影响到承载板。

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