化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
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冷水机能控制真空镀膜机的温度，以镀件的。如果不配置冷水机就不能使真空镀膜机达到、率控制温度的目的，因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的。