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提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成、副室：主要是副室筒以及上下法兰组成、 炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成/炉筒：包括取光孔、下炉筒：包括抽真空管道、底座机架：全铸铁机架和底座? 坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成、分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管 水管卡套等、管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管’电源以及电控柜：电源柜 滤波柜、控制柜、以及连接线等等、蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，用于熔化硅料的外部化料器7，所述外部化料器7的和加料坩埚62相连通，所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21相连通，以便将硅料加加料坩埚62后，硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化，被熔化后的硅料流主炉室坩埚21内。具体地，外部加料器6和外部化料器7之间设置有旋阀64，以便通过旋阀64控制外部加料器6和外部化料器7之间是否连通，所述外部化料器包括装料器71、化料器坩埚72和用于给化料器坩埚72加热以便硅料熔化的热场73，所述装料器71和加料坩埚62相连通，所述化料器坩埚72和装料器71相连通，

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本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器移出工作位并旋开，进而方便拆炉和清理，本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室的零部件；、本发明可通过副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置驱动副炉室移动，并在副炉室移取晶位的过程中，通过电动接晶托防止晶棒掉落，安全；、当不再继续加料时，通过化料器升降驱动装置将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置，并通过化料器旋臂的旋转旋开外部化料器，进而方便拆炉和清理；、本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震，使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响，进而保晶棒质量。