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校准
校准是提高三坐标检测精度的关键步骤。通过定期校准机器，可以确保机器的各部件处于正确的位置和角度。此外，校准还可以纠正由于机器老化或部件磨损导致的任何偏差。

几何误差修正
几何误差是由于机器部件的磨损、定位误差或制造误差导致的。通过使用修正程序，可以纠正这些误差，从而提高测量精度。修正程序通常包括对机器运动的线性度、角偏差和重复定位精度的测量和调整。

纳米级扫描电子显微镜（SEM）探索微观世界：扫描电子显微镜利用聚焦电子束在样品表面扫描，激发二次电子等信号来成像，其分辨率可达到纳米级，甚至亚纳米级。在材料科学、生物医学、半导体技术等领域，SEM成为研究微观结构、表面形貌和化学成分的重要工具，为精密量测和科学研究开辟了全新的视角。

形位公差，一般也称为几何公差，是机械加工后零件的实际要素相对于理想要素所允许的误差范围，这些误差包括形状误差和位置误差。形位公差是零件设计和制造过程中不可或缺的重要参数，它直接影响到产品的质量和性能。
形位公差通常通过特定的符号和数值来表示，这些符号和数值被标注在零件图纸上，以指导生产和检验。例如：

直线度：用符号“┬”表示，并在其后面标注公差值，如“┬0.01”表示直线度公差为0.01mm。
同轴度：用符号“◎”表示，并在其后面标注公差值，如“◎0.05”表示同轴度公差为0.05mm。
位置度：用符号“⊕”表示，并配以相应的基准和公差框格，如“⊕Φ0.1 A-B-C”表示某要素的位置度公差为Φ0.1mm，且以A、B、C三个基准面为基准。
工程设计：在工程设计阶段，需要对各种构件和设备的尺寸进行测量，以确保设计的合理性和可行性。
制造过程：在制造过程中，尺寸量测是质量控制的重要环节。通过对原材料、半成品和成品的尺寸进行测量，可以及时发现并纠正生产过程中的偏差，确保产品质量。
质量检测：在产品质量检测中，尺寸量测是评估产品是否合格的重要依据。通过对产品的各项尺寸进行测量，并与设计要求和标准进行比较，可以判断产品是否满足质量要求。