显影清洗机 适用对象：硅片 、蓝宝石基片，2-4英寸 4-2篮/批； 6-8英寸 2-1篮/批； 适用产业：半导体照明（LED）、半导体材料、半导体分立器件、集成电路、MEMS、有机发光二级管（OLED）等； 控制模式：手动控制模式、自动控制模式； 制程应用：湿法清洗显影制程