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提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成\副室：主要是副室筒以及上下法兰组成\ 炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成\炉筒：包括取光孔\下炉筒：包括抽真空管道\底座机架：全铸铁机架和底座\坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成\分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管 水管卡套等\管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等\电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整

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所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接，以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气，影 响排气效果，气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接，以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接，以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通，以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成，石墨具有强度高、抗热震性好、耐 高温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。