电解式发生器： 该类臭氧发生器通常是通过电解纯净水而产生臭氧。这种发生器能制取高浓度的臭氧水，制造成本低，使用和维修简单。但由于有臭氧产量无法做大、电极使用寿命短、臭氧不容易收集等方面的缺点，其用途范围受到限制。这种发生器只是在一些特定的小型设备上或某些特定场所内使用，不具备取代高压放电式发生器的条件。
紫外线式臭氧发生器 ： 该类臭氧发生器是使用特定波长(185mm)的紫外线照射氧分子，使氧分子分解而产生臭氧。由于紫外线灯管体积大、臭氧产量低、使用寿命短，所以这种发生器使用范围较窄，常见于消毒碗柜上使用。
电解池式臭氧发生器： 由于电极材料、电解液与电解机理方面的大量研究工作,电解法臭氧发生技术进展很大。近期发展的SPE(固态聚合物电解质)电极与金属氧化催化技术,使用纯水得到φ(O3)>14%的高浓度臭氧,使电解池式臭氧发生器的技术跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧发生器电解池专利中用钛电极板外表面覆盖铂层作为阴极,β-PbO2覆盖的电极板作为阳极,电池与超大电容器一起作为直流电源,电极上不需覆盖其它薄膜,电解液用中性的盐如NaCl来促进臭氧气体的产生。