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单晶炉真空系统的除尘技术/单晶炉是单晶体生长设备。单晶体生长要求在真空和惰性气体中进行。真空装置应能保炉体内热真空度达5×1024mm 柱以上。如果使用惰性气体作保护气氛，炉体上、下都设有进出气的气口。生长单晶体时，抽真空及真空装置注入惰性气体后都需配备除尘装置。西安理工大学工厂生产的混合式除尘器较好地解决了这一问题。本厂单晶炉系列：TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多种炉型近百台产品都使用这种除尘器。实践明，它的主要优点是除尘，能适应不同抽气阶段真空度的要求，容尘量大。其具体结构见图2、图3。该除尘器综合运用离心力、惯性碰撞、接触阻留、扩散这几种除尘机理。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，除尘机理示、扩散当含尘气流中的粉尘颗粒粒径小于1Lm 以下,特别小于0.1Lm 时，这些颗粒在随气流运动时不再沿着气体流线绕流捕集物，因而也再不能遵循惯性碰撞或接触阻留的机理被捕集物所捕集分离，而另一捕集机理——扩散在起作用。由于气体分子之间的热运动而产生的不规则运动，使气体分子之间的热运动而产生的不规则运动，使气体分子轰击着粉尘颗粒而使颗粒作扩散，可以使粉尘颗粒均匀地分布于整个气体空间。真空技术网(认为如果有一物体置于气体之中，一些超微颗粒通过扩散而沉降在这物体的表面上，从而使这些超微颗粒从气体中捕集分离、静电力悬浮在气流中的尘粒，如带有一定的电荷，可以通过静电力使它从气流中分离。由于自然状态下，尘粒的荷电量很小，因此，要得到较好的除尘效果，设置的高压电场，使所有的尘粒都充分荷电。凝聚凝聚作用不是一种直接的除尘机理。通过超声波、蒸汽凝结、加湿等凝聚作用，可以使微小粒子凝聚增大，然后再用一般的除尘方法去除。我们设计除尘器时要根据不同的具体情况，考虑一定的需要，采用某种除尘机理或者是几种除尘机理的综合运用。表1 列出几种除尘机理的除尘情况供为参考。
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所述热场73套装在化料器坩埚72的外侧，便硅料依次进入加料坩埚62、装料器71和化料器坩埚72，并在化料器坩埚72内经热场73熔化后又进入主炉室坩埚21，为了方便外部加料器6的移动、拆卸和清理，连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器6升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器6旋转的加料器旋转驱动装置，所述外部加料器6通过加料器旋臂8连接在加料器升降驱动装置上，以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂8升降，并通过加料器旋臂8带动外部加料器6升降，所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂8之间，以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂8一起升降，并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂8旋转，加料器旋臂8又带动外部加料器6旋转。