江苏泰兴长晶炉回收涡旋高真空泵回收物流提货
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本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器移出工作位并旋开,进而方便拆炉和清理,本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室的零部件;、本发明可通过副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置驱动副炉室移动,并在副炉室移取晶位的过程中,通过电动接晶托防止晶棒掉落,安全;、当不再继续加料时,通过化料器升降驱动装置将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置,并通过化料器旋臂的旋转旋开外部化料器,进而方便拆炉和清理;、本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震,使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响,进而保晶棒质量。
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生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积、严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂、造价昂贵,所以拉晶实验成本太高。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,除尘器内的空间由圆柱容器经上、下盖密封形成,整个空间分成两大区域:除尘区域和排气区域。含尘气流由切线进气口进入除尘区域,沿外壁由下而上螺旋形旋转运动。气流作旋转运动时,尘粒在惯性离心力的推动下,要向圆柱容器内壁移动。到达内壁的尘粒在气流和重力的共同作用下,沿壁面落到容器底部。这种情况,离心力是除尘器的主要作用力,尘粒与气流分离界面是圆柱容器的内壁。还有,圆柱容器内设置内外两层金属网,内层金属网缠绕于内侧的6 根金属杆上。外层金属网缠绕于外侧的8 根金属杆上。这14 根金属杆被固定在上盘和盘上。它们固联于圆柱容器上法兰。圆柱容器设置的排气筒是排气区域。