特气管路五项测试颗粒测试

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  颗粒测试(PARTICLE COUNTING)

       在工艺应用中的高纯气体中如果含有颗粒污染物会削弱甚至破坏晶圆的回路。颗粒测试可以检查在高纯气体管

道中的颗粒污染物。激光探测器可以出色的完成对 VMB，气瓶柜，气体盘面和高纯气体管路的颗粒检查任务。也

可以提供对大宗气体，包括应用中的工艺氮气，氦气，氢气，氧气和氩气系统的颗粒检查。

特气管道颗粒测试验收标准：

参考标准：GB 50646-2011 特种气体系统工程技术规范

1.特种气体系统颗粒测试时，其气体流量应由管道直径确定；

2.测试气源的颗粒数应在规定颗粒直径状态为零；

3.测试气体中大于0.1~0.3微米的颗粒数应≤35颗粒/m³；连续3次达标为合格。