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以上所述的具体实施例,对本发明解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
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而采用有限元法数值模拟是一种优化单晶炉设计的重要工具。本文对采用矮加热器的复合式热场进行了数值模拟,得到了流场分布图和热场温度分布图。对新型热屏和矮加热器对晶体生长的影响进行了系统的理论分析和实验验工作。结果表明,新型热屏不仅起到导流筒的作用,改进了流场,使单晶氧含量下降;而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题,大大提高了拉晶速率,降低了生产成本。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,结束语/在工业中使用除尘器收集灰尘已经有了上的历史,但是,到目前为止,还没有一种不论在什么条件下都能够圆满解决问题的除尘器。因此,要根据不同的具体情况选择设计适用的除尘设备。对尘埃问题,世界各真空设备都有各种性能要求和规格的除尘器、过滤器供用户选择。国内还没有生产性能规格的除尘器、过滤器的工厂,大都由用户自行设计加工。设计人员掌握除尘技术的基本知识,考虑许多技术经济因素才能满足实际应用的要求。

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