ECR同轴等离子体源气体氩气、氮气、氧气、空气等离子体源火炬

在 2.45 GHz 频率下产生的微波具有产生等离子体的特优势。在这个频率下，微波可以有效地与气体的电子共振，从而提高电离效率。此外，2.45 GHz 频率允许使用相对较小的腔体尺寸，这对于紧凑型等离子体源的设计非常有用。 微波等离子体源具有多种应用，包括：

Sairem公司是法国一家专注于提供微波源、微波等离子体源的公司，它的微波源被广泛应用于PECVD法制造生长金刚石设备中，等离子体源用于清洗、喷溅、蚀刻等设备中。

等离子体源是指产生和维持等离子体的设备或装置。等离子体是由高能粒子击打原子或分子而产生电离的气态物质，通常包括正离子、电子等带电粒子。等离子体源可以是利用高温或高压来产生等离子体，也可以是利用激光、微波等辐射来产生。在科学研究、工业应用和医疗领域中，等离子体源被广泛应用于材料加工、离子注入、核聚变等方面。常见的等离子体源有等离子体切割机、等离子体切割焊接机、等离子体清洗机等。