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由于承担与镀膜设备配合、承受高压水冷等作用,需要具备的尺寸精度与机械精度,加工难度较高。尤其是带内循环水路的背板。由于材质的特殊性,水路的密闭焊接非常困难。需要用到特种焊接工艺,l金属化:靶坯与背板在绑定之前,为增强靶材和靶材与焊朴的全属润湿性能,需要进行焊合面的预处理,使之表面锭上一层过渡层,l绑定:大部分靶材由于材料的物理或者化学性能受限,不可直接装机镀膜使用。需要采用金属焊料将靶坯与背板相互焊合连接,并且表面有效粘结率需要达到大于95%的大面积焊合,整个过程需要在高温和高压下进行,以铝靶材制造过程为例。

如烧结气氛、烧结压力等,从而制备成高密度的靶坯,l塑性加工:金属坯锭需经过大幅度的塑性变形。以获得足够的长宽厚度尺寸,并使得内部晶粒进行足够的拉伸变形。从而在内部产生足够多的位错,l热处理:金属坯锭在经过大幅度的塑性变形后。根据不同的材料的特性选择热处理工艺,从而使金属材料发生重结晶去除内应力,l超声探伤:靶坯加工完后需要采用波进行检查材料内部是否有缺陷。靶坯与背板绑定完成后,需要采用水浸式超声波扫描仪进行粘结层的检测,看粘结面积是否达标。l机械加工:靶坯需要进行精密的机械成型加工,用于与靶坯复合使用的背板。

共计15道工序,l粉末冶炼:对原籵粉末进行前期的气氛烧结,对原籵粉末中气体含量进行控制,l粉末混合:靶材有着特的配方,需的控制各组分的含量,并严格限制杂质含量。在粉末冶全的过程中,需要将各元素充分混合均匀。粒度分布均匀,防止污染并要通过特殊工艺手段制备成混合型复粉,l压制成型:采用粉末冶金工艺制备的靶材需要对粉体料进行预压。使之成为中等密度生坯。其密度的均匀性和内部的缺陷影响着后期高温烧结的成品率,l气氛烧结:预压成型的生坯需要再经过一次或多次的高温烧结,根据不同材籵选择不同的烧结温度曲线,并选择不同的烧结环境。

2陶瓷靶材。ITO靶、AZO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶。铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶等陶瓷溅射靶材,3合金靶材。镍铬合金靶、镍钒合金靶、铝硅合金靶、镍铜合金靶、钛铝合金、镍钒合金靶、硼铁合金靶、硅铁合金靶等高纯度合金溅射靶材,在靶材制造的过程中,需要经历粉末冶炼、粉末屁合、压制成型、气氛烧结、塑性加工、热处理、超声探伤、机械加工、水切割、机械加工、金属化、绑定、超声测试、超声清冼、栓验出货。

接近纯的ITO薄膜的电阻率,FPD和导电玻璃的尺寸都相当火,导电玻璃的宽度甚至可以达到3133_,为了提高靶材的利用率,开发了不同形状的ITO靶材,如圆柱形等,2000年,国家发展员会、科学技术部在《当前发展的信息产业领域指南》中,ITO大型靶材也列入其中,存储用,在储存技术方面,高密度、大容量硬盘的发展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,CoF~Cu多层复合膜是如今应用广泛的巨磁阻薄膜结构。磁光盘需要的TbFeCo合金靶材还在进一步发展,用它制造的磁光盘具有存储容量大,寿命长。可反复无接触擦写的特点,如今开发出来的磁光盘。

光纤是光通讯科技与产业的基础,高纯四氯化锗是高品级石英系光纤不可缺少的关键原料。四氯化锗作为石英系光纤中的主要掺杂剂,其用途是提高光纤的折射指数,降低光损耗。进而提高光纤的传输距离,锗在光纤中的分布和含量决定了光纤的关键性能指标。所以其本身的质量直接影响光纤的性能和质量,四氯化锗可由氯化氢来提纯,这个过程可以去除砷和其他类似的杂质,在-30℃到30℃的温度范围内用无水氯气来提纯。但这个方法不能除去含氢杂质,在1000℃高温下四氯化锗中的氢原子被氯气氯化成氯化氢,从而去除含氢杂质。采用沸石来除去气体(包括四氯化锗气体)中的水分子。

搭配上聚光光学组件从而使其应用领域开始扩大,并且正在以较快的速度普及。CIGS薄膜太阳能电池是第三代太阳能电池。具有生产、安装、使用成本低,光电转换率高的优势,因而在众多太阳能电池产品中成为发展快的一族,虽然世界上已投产或在建的CIGS工厂已超过40多家。但金属镓在CIGS的原材料中所占比重仅为5%—10%。随着CIGS生产规模的扩大,该行业对金属镓的需求会有明显增长,在原子能工业中。镓可以作为热传导物质。将反应堆中的热量传导出来,此外。镓还可以吸收中子。从而达到控制中子数目和反应速度的效果,碘化镓应用到高压水银灯镓还可以用来制造阴极蒸汽灯。

镓是一种低熔点高沸点的稀散金属。有“电子工业脊梁”的美誉。镓的化合物是的半导体材料。被广泛应用到光电子工业和微波通信工业。用于制造微波通讯与微波集成、红外光学与红外探测器件、集成电路、发光二极管等。例如我们在电脑上看到的红光和绿光就是由磷化镓二极管发出的。目前,半导体行业金属镓消费量约占总消费量的80%—85%,镓也被应用到太阳能电池的制造中,如砷化镓三五族太阳能电池,该电池具有良好的耐热、耐辐射等特性。其光电转换率非常高。初因为生产、使用成本都非常高,常常被应用在航天和领域,但近几年随着科技的发展。砷化镓太阳能电池的生产和使用成本都在降低。

其名源自tellus。意为“土地”,1782年米勒·冯·赖兴施泰因(FJMüllervonReichenstein)发现,碲为斜方晶系银白色结晶。溶于硫酸、硝酸、王水、氰化钾、氢氧化钾;不溶于冷水和热水、二硫化碳,高纯碲以碲粉为原料,用多硫化钠抽提精制而得,纯度为99999%。供半导体器件、合金、化工原料及铸铁、橡胶、玻璃等工业作添加剂用。碲有两种同素异形体,即黑色粉末状、无定形碲和银白色、金属光泽、六方晶系的晶态碲半导体。禁带宽034电子伏,[4]。碲的两种同素异形体中,一种是晶体的碲,具有金属光泽,银白色。

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