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X射线光谱分析仪的好坏常常是以X射线强度测量的理论统计误差来表示的，BX系列波长色散X射线荧光仪的稳定性和再现性，已足以待测样品分析测量的精度，被分析样品的制样技术成为影响分析准确度的至关重要的因素，在样品制备方面所花的工夫将会反映在分析结果的质量上。X射线荧光仪器分析误差的来源主要有以下几个方面：1.采样误差：非均质材料样品的代表性2.样品的制备：制样技术的稳定性产生均匀样品的技术3.不适当的标样：待测样品是否在标样的组成范围内标样元素测定值的准确度标样与样品的稳定性4.仪器误差：计数的统计误差样品的位置灵敏度和漂移重现性5.不适当的定量数学模型：不正确的算法元素间的干扰效应未经校正颗粒效应纯物质的荧光强度随颗粒的减小而增大，在多元素体系中，已经证明一些元素的强度与吸收和增应有关，这些效应可以引起某些元素的强度增加和另一些元素的强度减小。