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长时间高浓度吸氧还会损伤肺泡上皮细胞，应尽量把吸氧浓度控制在60%以下。
吸氧还容易导致肺不张，加重II型呼衰患者二氧化碳蓄积。如果是在高压状态下高浓度吸氧，例如潜水，更是有生命危险。比如在2个大气压下吸纯氧2个小时就可能造成神经损伤；如果是3个大气压下吸纯氧数分钟就可能致命。
氧气本质上是一种高活性的化学物质，除产生三磷酸腺苷给细胞供能外，还会产生活性氧，它的化学性质非常活泼，可以破坏核酸、蛋白质和脂质膜，导致细胞死亡。
