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对无机过氧化合物的科学研究始于18世纪。798年，德国自然科学家亚历山大·洪堡在高温下氧化氧化钡，制成  。1810年，法国化学家约瑟夫-路易·盖·吕萨克和路易-雅克·德纳合作制备  和  。1818年，纳德用酸处理  ，然后通过蒸馏发现了过氧化氢。在过去的200年里，化学家们不断研究发现了大量的无机过氧化合物。这些过氧化物在受热、遇水或其他化学试剂时，很容易析出氧气。