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早期的半导体激光器发出的激光单色性差，无法作为检测仪器的光源。随着科技的进步，现在的半导体激光器所发出的激光的单色性已经接近或达到氦氖激光器的水平，在很多应用领域已经取代氦氖激光器。由于半导体激光器有众多优点，所以国外品牌激光粒度仪现在也大都改用半导体激光器做光源。静态光散射激光粒度仪能谱是稳定的空间分布。主要适用于微米级颗粒的的测试，经过改进也可将测量下限扩展到几十纳米。动态光散射原理的激光粒度仪根据颗粒运动的快慢，通过检测某一个或二个散射角的动态光散射信号分析纳米颗粒大小，能谱是随时间高速变化。