有些真空镀膜机真空计的读数，与气体种类有关，比如热偶计，电离真空计。选用适当的气体或液体做示漏物质，这些真空计便成了探测器，一般镀膜机上都有真空计，使用起来很方便，也是常用到的一种检漏方法。用于热偶计的示漏物质有，二氧化碳，丁烷，酒精等热偶计反应较慢，观察要很仔细。用于电离计的示漏物质有氦，氩，酒精等。
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主要由真空镀膜机室、真空抽气机组及电柜（控制电柜、电子枪电柜）组成，其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。
光学镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度，材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大，蒸发出来的蒸汽分子向四处直射，碰到基片就沉积在基片表面形成膜层。
维护与保养主要包换电子枪安装与维护、光路的检修与维护、设备的清洗与保养。