对 ULPA 过滤器进行粒子计数效率试验时，由于效率太高而使下游粒子浓度过低，下游粒子计数不足以得出可靠的效率数值。按理，过滤器厂应延长试验时间，以得到具有统计意义的计数。但是，主要由过滤器制造商制定的过滤器标准将 ULLPA 过滤器的效率测量麻烦推给了滤纸制造商。如果过滤器厂的客户不坚持要求过滤器厂自己测量 ULPA 过滤器的效率，有些过滤器厂就直接使用滤纸实验室提供的效率数据，而在生产检验中只进行快速的检漏扫描。好在全世界没有几家滤纸厂，谁也不敢在试验上含糊。中国情况比较特殊，中国的滤纸厂数量是中国之外所有滤纸厂的几倍。中国滤纸厂正在努力使自己成为数据信得过的供货商，但需要继续努力一阵子。
在待测过滤器的上游端发PAO气溶胶作为尘源，待气溶胶混合均匀也就是当上游浓度值稳定后，用气溶胶光度计进行检测，把该浓度值设定为基准值。上游浓度值设定后，不要再调整PAO气溶胶浓度。用光度计在过滤器下游逐点扫描，检测气溶胶浓度，下游浓度与设定的上游浓度的比值，就是过滤器的泄漏率（也称透过率）。
要测试过滤器的泄漏率，满足三个条件：
1、能将气溶胶引入系统。
引入气溶胶好的地方是风机的负压端。此时发生器产生的尘粒都能被风机吸入系统，气溶胶对环境的干扰小；气溶胶混合得比较均匀；发尘不需正压密闭环境，发尘难度低。例如：FFU进风口、洁净工作台进风口等。
有些不具备条件的地方只能在接近过滤器的位置进行发尘，此时需要克服过滤器上端的气流压力将气溶胶压入静压箱，发尘难度较高；发尘时泄漏到现场测试环境的气溶胶比较多，环境中气溶胶浓度高，容易对测试带来干扰；气溶胶混合不均匀，上游浓度波动大。除非迫不得已，我们不推荐在此处发尘。
有些设备制造厂家没有相关的测试经验，将气溶胶发尘口设置在风机的正压端，给测试带来很多不必要的麻烦。所以大家在编写设备URS的时候，一定要将此要点写入，要求设备制造厂家将发尘口设置在风机的负压端，为后期的验证创造有利条件。
2、能够检测到稳定均一的气溶胶上游浓度。
上游浓度测试口都设置在靠近过滤器上游端的地方，由软管连接到容易采样的位置，例如净化空调系统房间送风口静压箱。有些老旧的静压箱没有上游浓度测试口，则对静压箱进行改造。
3、能够在过滤器下游端对过滤器出风面进行逐点扫描。
能够进行逐点扫描的，可以测得过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口测试过滤器的整体泄漏率。